第277章 历史性时刻 (第2/3页)
这点侯盛昌还是有一定认知的。
“太好了。”
“如此我们的芯片制造产业链就能完全解决，今后不再有什么掣肘了。”
随即他想到这个情况带来的作用，脸上的笑容顿时又盛了几分。
周围其他人虽没开口发言，但从神情来看心情也都算不错。
尽管到现在测试才算刚刚开始，可看到徐昀这波澜不惊信心十足的状态，倒是让他们都平复了许多。
进行光刻前晶圆一般要通过高温加热方式其表面产生氧化膜，作为光导纤维便于后续的光刻流程，这也就是所谓的覆膜。
晶圆完成这项流程后，接下来便是涂抹光刻胶。
值得一提的是，这可不是霓虹那边公司生产出来的高端光刻胶。
而是来源自徐昀碰巧合成的全新光刻胶，检测表现出来的数据远远超过对方。
关键成本方面更加低廉。
不过由于先前国内并不具有高端光刻机，所以一直没有办法实际测试。
今天总算能代替其真正价值。
只要表现的足够稳定，那么接下来便可以批量生产保证芯片的制造。
对此侯盛昌则最为高兴，想到因为徐昀科学院在光刻胶领域节省了大量时间和金钱，便让人心情舒爽。
要知道光刻胶可也是芯片制造中的重要环节，是必须要攻克的存在。
以往国内没有高端光刻机，也就未朝高端光刻胶领域过多发展。
进行研究的皆以低端光刻胶为主。
根本无法使用在光刻机上。
幸好徐昀机缘巧合下合成出了全新光刻胶，否则空有光刻机没有高端光刻胶，照样无法完成今天的测试。
哪怕成功交付，也解决不了半导体领域问题。
毕竟就算立刻投入大量精力去研究，也不见得能在短时间内研发出高端光刻胶。
“这次可要感谢徐教授的光刻胶啊，要不然今天的测试就只能进行到这步了。”
或许是侯盛昌心情不错，这个时候也不忘提起徐昀眼神中满是喜爱。
再一次为自己让徐昀担任项目负责人的重大决定感到庆幸。
说起来当初也正是徐昀的光刻胶在全球引起比较大的言论热度，他这才下定决心邀请徐昀过来研发首台国产极紫外光刻机。
这时旁边的罗长辉也忍不住说：“徐教授的光刻胶确实解决了我们很大问题。”
徐昀听着两人给自己戴高帽，心里也是哭笑不得。
当即开口回应道：“毕竟是新型光刻胶，具体能否达到稳定的效果，暂时还不得而知呢。”
他这话自然不是谦虚。
这种新型光刻胶从研发出来并没有经过实际的高端芯片测试，且目前生产出来的存量也有限，很多地方确实需要看最终结果。
比如对于晶圆厂来说最重要的成品率。
如果使用这种光刻胶光刻的芯片残次率较大，那就算光刻胶成本很低，也绝对不会继续使用。
这也是新型光刻胶很难在国际上有市场的原因。
基本晶圆厂绝对不会冒险。
否则所造成的损失将直接影响到利润。
侯盛昌这会显然已经对徐昀无比信任，闻言伸手拍了拍徐昀的肩膀宽慰道：“没有你就没有国产极紫外光刻机的今天，要多给自己点自信才行。”似乎丝毫不觉得今天测试会有问题。
随即光刻机将极紫外光通过镜片，照在前面准备好的集成电路掩膜版上。
将设计师绘制好的电路图曝光在晶圆上。
后面则需要溶解光刻胶。
使光刻过程中曝光在紫外线下的光刻胶被溶解掉。
清除后留下的图案和掩模上的一致，再进行蚀刻。
尽管到这一步已经非常繁琐，可后续还需经过离子注入电镀抛光覆盖层数，直至制造出布满芯片的晶圆。
虽然这个等待的过程比较枯燥，徐昀侯盛昌等人却没有丝毫的不耐烦。
在晶圆参考电路图案和每一块芯片进行对比测试后便开始切片。
并丢弃瑕疵芯片。
余下芯片经过封装再次测试后，便能包装发货。
把整个流程全部跟下来，可以确定光刻机的各项功能和运行都没有问题，在设计时的理想参数范围内。
虽不知道长期运行后会有什么变化，起码现在通过了测验。
接下来则只需要确定芯片的瑕疵率，以及生产出的芯片最终性能。
如果都没有问题的话，便能够正式对外界宣布首台国产极紫外光刻机交付。
相信解释肯定会引起全球的轰动。
“拿到最终芯片测试数据还要等些时间，院长还是先去休息室吧。”
徐昀稍微松了口气，特意对身旁的侯盛昌说。
眼下该看的东西都已经看完，接下来光刻机也会自行运转工作，倒没必要继续留在原地等待。
“放心吧院长，肯定不会有问题的。”闻言旁边的罗长辉也接过话茬附和道。
侯盛昌年纪虽然在这放着，可面对让人魂不守舍的极紫外光刻机，他宁愿多驻足会欣赏这个大家伙。
可想到结果出来还要些时间，而他刚好有其他事情告诉项目组，便不再迟疑当即点头答应下来。
“那好吧。”
随着侯盛昌松口，在徐昀的带领下便一
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