第575章 非晶硅薄膜技术 (第2/3页)
圆。然后在通过CVD（化学气相沉积）、光刻、蚀刻等一系列复杂的工艺流程，在晶圆上制造大量的微小电路，从而形成超大规模集成电路。
而在TFT液晶中却有所不同，它需要在在衬底的基板玻璃上先附上一层硅膜，然后再在这层硅膜上制造用来控制液晶显示的集成电路。而制备晶圆的工艺，显然无法用于液晶面板上硅膜制造。相反半导体工艺中用来形成稳定固态薄膜的CVD设备，恰好可以解决在玻璃基板上覆盖硅膜的难题。
但CVD设备除了在半导体工业中不可或缺之外，其实也已经在光伏领域用来制造非晶硅薄膜。而这一非晶硅薄膜技术其实早在1979年，就被英国的邓迪大学率先用来试制出了非晶硅TFT。
有英国人帮忙指路之后，日本和欧洲的企业和科研机构开始迅速跟进，非晶硅TFT驱动液晶显示屏的开发成果。但实验室试制和工业化规模生产之间，毕竟还有不小的差距，抢先开始大规模投资的夏普公司就因此踩雷了。
太阳能电池对CVD设备的洁净度要求一点也不敏感，但TFT液晶对洁净度的要求甚至比半导体产业还要苛刻。所以简单的把用于光伏产业的CVD设备略加改进就用来生产TFT液晶面板，得到的产品良率简直是惨不忍睹。真正可行的办法是在半导体CVD设备的基础上，在结合非晶硅镀膜技术重新研发专门的CVD设备。
泛林公司想要吞并应用材料公司，首要目的自然是获得对方在CVD设备领域的身后积累。半导体产业由于工艺精密，流程复杂，从前期晶圆制备一直到后期芯片封装测试，整条生产线使用到的设备多大几十甚至上百台。
而这其中光刻机、刻蚀设备和CVD设备这三种就占了整个半导体设备市场将近一半的销售额。泛林公司之前把大部分的精力都放在了赖以起家的刻蚀设备，以及整个半导体设备工艺中的明珠光刻机技术上。
而在吞并GCA公司之后
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